树脂再生实现资源可持续利用

超纯水是半导体生产过程中最重要的元素之一，主要用于晶圆清洗、浸没式光刻、制备工艺化学溶液等。半导体生产需要大量超纯水，并且对于超纯水水质有着非常苛刻的要求，超纯水质量对生产工艺和产品良率有重要影响。

威立雅水务技术中国服务业务总监 彭杰先生

威立雅水务技术作为法国威立雅集团的子公司，是水处理技术及服务的引领者，该公司在中国的首家树脂再生工厂近日在江苏常熟建成开业。威立雅水务技术中国服务业务总监James Peng 彭杰先生介绍：在半导体生产中，用来产生超纯水的抛光（离子交换）树脂，以前一般是失效后就作为固体废料抛弃了。威立雅树脂再生工厂采用先进技术高效回收使用过的离子交换树脂，通过处理使其再生可以重复使用，从而促进资源优化和资源的可持续利用。

威立雅树脂再生有两种业务模式：一是交换树脂回收再生；二是移动水处理业务，即超纯水处理设备租赁服务，直接提供水处理设备给客户使用，能够做到高效率、多设备交替，免去客户大规模设备成本投资和使用维护。 “随着半导体行业的快速发展和生产工艺的不断升级，对超纯水的各项指标要求也持续提高。威立雅树脂再生技术可制备电阻率大于18.0MΩ.cm和总有机碳TOC（Total Organic Carbon）小于5ppb的超纯水，满足半导体行业的高标准要求。”彭杰说。

除了超纯水业务，威立雅的业务还包括污水处理回用和有机溶剂废液处理。彭杰表示：针对半导体生产的污水和废液，威立雅拥有自己独特的技术，能够大幅提升半导体行业水效率。威立雅凭借其独特的综合解决方案优势，可以提供包括超纯水生产、废水回用和废液处理的整体解决方案，在该领域处于领先地位。公司的创新技术赢得了众多半导体巨头的青睐，成为电子、半导体、光伏等高科技行业的优质合作伙伴。

"GreenUp"计划推进生态转型

威立雅致力于满足各个行业的企业客户对可靠的处理水和超纯水服务不断变化的需求，促进半导体、电子、制药、石化、电力以及食品饮料等行业的重要企业的积极转型。新工厂的落成是威立雅在中国发展的又一个重大进步。

新工厂位于江苏省常熟市经济技术开发区，占地6000平方米，再生树脂生产能力为60000升/天。可持续发展是再生工厂设计的核心重点，该工厂创新的水循环系统使市政水的消耗最高能节省60%，为当地社区保护了水资源。

作为威立雅承诺的推进生态转型的一部分，新工厂将为那些关键工业产业提升了供应保证能力以及促进环境管理，为半导体、电子、制药、石化、电力、食品饮料等行业提供了所需的稳定的处理水和超纯水。

威立雅最近公布了其雄心勃勃的“GreenUp” 2024-2027 战略计划，旨在加速部署可承担的、可复制的解决方案，以消除污染、脱碳和资源再生。水处理技术和新解决方案是该计划的核心，而新建的常熟再生工厂是威立雅在中国推进脱碳和资源再生工作的重要里程碑。威立雅新建的再生工厂将加强对企业客户的供应保证，促进环境管理，这是威立雅推动生态转型的承诺之一。

威立雅集团致力于成为全球生态转型的标杆企业。集团在水、废弃物及能源管理三个领域定制与实施切实有效的解决方案，凭借三个互补的业务领域，威立雅实现获得资源、保护资源并补充资源的愿景。自 20 世纪 90 年代进入中国之后，威立雅水务技术已拥有 400 多个项目，这充分显示了其为工业和市政客户提供定制化解决方案的能力。

威立雅水务技术首席执行官 Arnaud Valleteau（阿诺·瓦莱托先生）表示：作为全球领先的水处理技术公司，威立雅坚持业绩表现和可持续发展的共同性。这座新工厂在脱碳和资源再生方面与我们的“GreenUp”战略计划相一致，这标志着我们向战略目标又迈进了关键的一步。我们认识到实施计划的紧迫性，正在加快努力提供必要的可持续的解决方案。中国仍然是威立雅的一个增长市场，我们正在努力扩大在中国的业务并兑现我们的可持续发展承诺，这符合中国的双碳政策。

（半导体芯科技报道）