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应用突破|化合积电联合多所高校破解金刚石多层材料热传导难题

2024/11/26 9:11:08

来源:化合积电

近日,化合积电联手北京科技大学、中国科学院电工研究所、西安交通大学发表的学术论文“Enhancing interfacial heat conduction in diamond-reinforced copper composites with boron carbide interlayers for thermal management”,在材料领域国际知名期刊Composites Part B: Engineering上发表,该期刊由英国Elsevier Ltd出版,具有很高的学术影响力和认可度。

 应用突破-1.png

作者:北京科技大学崔帅,北京科技大学孙方远教授、中国科学院电工研究所王大正博士和化合积电联合创始人/CEO张星等

该研究使用化合积电制备的<001>取向、尺寸为10mm×10mm×1mm的高导热性单晶金刚石基板作为基底,通过引入碳化物修饰层有效地将金刚石颗粒与铜基体连接,改善界面结合,显著增强界面热传导,提高了金刚石和铜衬底的界面热导。该研究突破了界面优化对多层材料热性能影响研究较为空白的现状,为增强纳米尺度界面上热交换提供了更深入的理论基础,对未来制造铜/碳化硼/金刚石多层材料实际应用提供了可参考建议。

化合积电采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)的方式生长单晶金刚石,为该研究打下良好基础。长期以来,公司始终秉持开放合作理念,和国内外众多知名高校及顶尖实验室建立了紧密合作,通过资源共享、优势互补,与合作伙伴们共同攻克了一系列技术难关,加速了金刚石半导体材料从实验室走向产业化的步伐。

应用突破-2.png

海外部分合作高校及实验室

应用突破-3.png

国内部分合作高校

定制化单晶金刚石

满足多领域科研需求

Appliacation

应用突破-4.png

 

单晶金刚石(热学级、光学级、电子级)是化合积电的核心产品之一,具有所有材料中最好的导热性(高达2200W/m.k)以及高硬度、高化学稳定性、高光学透过性、极宽的禁带宽度、负的电子亲合性、高绝缘性和良好的生物兼容性等优异性能,在超精密加工、半导体、航天航空、核能源等高新技术领域拥有广泛应用发展前景,成为了多领域科研前沿的热门研究材料。

化合积电采用MPCVD生长方式制备高品质单晶金刚石,提供定制化尺寸、粗糙度、晶向、掺杂等定制化服务,为不同领域科研探索关键技术支撑。

序号

技术参数

技术指标

1

尺寸

10*10mm,15*15mm,1寸等,可定制
 
 

2

厚度

50um-2mm;可定制

3

晶向

(100)/(110 )/(111)

3

表面粗糙度

Ra<1nm;Ra<30nm

4

氮含量

N <50ppb

5

硼含量

轻掺:1015 ~1017重掺:1018 ~1020

6

平面度TTV

<10um

7

光学透过率

>70  %

高品质单晶金刚石

“硬核指标”新突破

Parameters

单晶金刚石晶体质量

应用突破-6.png

应用突破-7.png

化合积电的电子级单晶金刚石产品的拉曼特征峰FWHM低至2.1cm-1,XRD摇摆曲线半高宽低至31.6arcsec。

单晶金刚石位错密度与氮含量
应用突破-8.png

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X射线衍射形貌术(XRT)检测下化合积电的电子级单晶金刚石产品的位错密度<103/cm,达到了电子级单晶的位错密度水平。

顺磁共振(EPR)检测下化合积电的电子级单晶金刚石产品氮含量<50ppb。

表面粗糙度

 

应用突破-10.png

AFM原子力检测和白光干涉仪进行表面粗糙度检测,Ra<1nm。

厚度

应用突破-11.png

化合积电单晶金刚石最薄厚度能够达到0.05mm。

化合积电核心产品除了高品质单晶以外,还有多晶金刚石(晶圆级金刚石、金刚石热沉片、金刚石窗口片、金刚石基异质集成复合衬底)和氮化铝薄膜(金刚石基氮化铝、硅基氮化铝和蓝宝石基氮化铝)等,并可根据客户要求提供定制化服务。

自创立以来,公司同多所海内外高校及顶尖实验室建立了战略联盟开展深度合作,坚持以市场为导向、“产、学、研、用”四位一体,积极整合优势资源,为金刚石科研前沿贡献力量。



【近期会议】

11月28-29日,“第二届半导体先进封测产业技术创新大会”将再次与各位相见于厦门,秉承“延续去年,创新今年”的思想,仍将由云天半导体与厦门大学联合主办,雅时国际商讯承办,邀您齐聚厦门·海沧融信华邑酒店共探行业发展!诚邀您报名参会:https://w.lwc.cn/s/n6FFne



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