2018/3/6 11:27:43
CyberOptics公司推出新一代300mm远程尘埃颗粒传感器（Airborne Particle Sensor，APS3）技术。这种WaferSense APS3可通过实时无线检测，识别和监测空气中的微粒，有助于加快半导体工厂的设备设置并提高长期收益率。WaferSense APS3已是一种广为人知的方法，与传统的晶圆表面扫描法相比，已被证实可节省时间高达90%、节省成本95%，以及高达20倍的产量。
APS3测量设备现在更轻薄，可轻松地穿过半导体工具，同时提供业界领先的精度和灵敏度，已被全球的设备和工艺工程师所重视。
CyberOptics总裁兼首席执行官Subodh Kulkarni博士表示，全球半导体工厂和OEM设备厂商都依靠我们经过验证的WaferSense APS3技术来显著提高产量。现在APS3测量设备变得更薄更轻，并将其与ParticleSpectrum软件包结合在一起，该软件拥有一个全新的具有触摸功能的界面，用户友好，可实时读取、记录和反复检查从小到大的气体颗粒数据，进一步简化了工程师的工作。
WaferSense测量产品包括自动调平系统（ALS）、自动凝视系统（AGS）、自动振动系统（AVS）、自动教学系统（ATS），APS3和新型自动多传感器（AMS），这些将根据不同尺寸晶圆提供相应货源，包括150mm，200mm和300mm。
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