2020/8/6 7:25:37
—— Onto Innovation新款Element™设备喜获全球最大存储器制造商介电膜检测多笔订单
日前，Onto Innovation宣布推出全新的Element™材料分析平台，用于先进半导体器件制造的制程中检测介电层控制解决方案，包括硼磷硅玻璃中的硼、磷元素浓度及先进制程中氢元素的监测。同时宣布获得全球三大存储制造商之一的多笔订单，并且在2020年第二季度开始供货安装。
ONTO副总裁，晶圆产业部总经理Robert Fiordalice评论说。”Element™平台在这些新的应用中被客户选择，说明我们已经从硅片杂质或外延膜厚量测这些传统FTIR市场拓展开来，迈出到全新的先进器件检测市场上。我们相信这些新的拓展，会让我们在2021年所服务的市场销售额中增加约三千万美元左右。”
他继续评论道：“我们的客户可以通过Element™平台的强大的功能，来找到材料特性和集成电路制造变量中的相关性，从而轻松控制延展性及最终产能的改善提高。我们相信这些初期的Element™平台订单说明随着半导体制程节点的高度发展，更多的介电元素或半导体元素会被使用，线内（inline）采用FTIR的监测是一个必然趋势。我们客户的长期发展规划显示下五年这部分的需求有十倍的增长。”
市场资深总监Anoop Somanchi评论说：“先进的制程节点要求更精确，更稳定的制程控制监测手段。全新的Element™平台被选择，是客户经过一个长期而且严格苛刻的筛选挑战的结果。无可匹敌的硬件搭配独特而且久经考验的高级算法，对客户极具挑战的制程控制，Element™平台完全可以胜任。”
声明：本网站部分文章转载自网络，转发仅为更大范围传播。 转载文章版权归原作者所有，如有异议，请联系我们修改或删除。联系邮箱：viviz@actintl.com.hk， 电话：0755-25988573
