SEMICON China
2021年3月17-19日
上海新国际博览中心
展位号：N1馆1387#和1325#

2021年3月，CyberOptics^®公司是高精度3D传感技术解决方案的全球领先的开发制造商，将参展SEMICON China，并在展会上展示装备Multi-Reflection Suppression™ (MRS™) 传感器的WX3000™计量与检测系统。该公司还将展示用于半导体工具设置和诊断的高精度WaferSense^®传感器。

集成到CyberOptics WX3000系统中的50纳米分辨率MRS传感器可以提供0.2微米的精度可量測最小到25 µm的锡球。在保留其拒绝杂散多重反射能力的同时，它还增加了捕获和分析锡球、凸点和焊柱闪亮表面的镜面反射能力，使得可以对这些关键封装特征进行高精度检测和3D计量。完成100%的3D/2D检测和凸点计量，比其他技术快2～3倍，可提供每小时超过25片晶圆（300mm）的生产能力。

CyberOptics总裁兼首席执行官Subodh Kulkarni博士表示：“随着晶圆级和先进封装对高分辨率、高精度、100%检测和计量需求的不断增加，WX3000系统不仅满足了这些技术要求，而且还具有其他技术无法比拟的速度。”

该公司还将对高精度传感器进行数字演示，这些传感器被工艺和设备工程师用于制造前端，以加速设备鉴定，缩短设备维护周期，降低设备费用，并优化预防性维护计划。WaferSense^® Auto Resistance Sensor™ (ARS，自动电阻传感器)支持实时测量半导体电化学沉积（ECD）应用中电镀槽接触电阻，In-Line Particle Sensor™ (IPS，在线粒子传感器) 24/7地检测和监控，发现并排除任何制造区域内气体和真空中0.1µm以下的微粒。

关于CyberOptics

CyberOptics公司是高精度3D传感技术解决方案的全球领先的开发制造商。CyberOptics传感器广泛应用于表面贴装技术（SMT）和半导体领域的检测和计量，大幅提高制程成品率和生产能力。CyberOptics凭借其先进技术，确立了其在高精度3D传感器领域全球领导者的战略地位，这也使公司进一步加大了向重点垂直市场的渗透力度。公司总部设在明尼苏达州明尼阿波利斯，通过在北美、亚洲和欧洲的工厂与机构进行全球运营。www.cyberoptics.com