佳能发布FPD曝光设备“MPAsp-H1003T”

——实现2.0μm解析度对65英寸液晶面板的一次曝光

佳能将于2018年10月下旬起正式发售FPD（Flat Panel Display）曝光设备新品，型号为“MPAsp-H1003T”。该产品针对第8代玻璃基板尺寸※1研发，实现了运用2.0μm（L/S※2）的解析度对65英寸液晶面板进行一次曝光的技术。

  MPAsp-H1003T 

随着平板电视的普及，今后的电视市场需求方向，将向以65英寸为主的大尺寸、搭载4K和8K技术的高精细化、以及以有机EL面板为代表的获得Ultra HD Premium※3认证的高品质电视方向发展。新产品针对在电视机等液晶平板制造业中被广泛使用的第8代玻璃基板所设计，使高品质65英寸液晶面板的能够实现量产。

实现运用2.0μm解析度对65英寸液晶面板的一次曝光

佳能的FPD曝光设备采用了搭载“Mirror Projection”一次曝光技术的镜面光学系统，通过大范围曝光，实现了大型液晶面板的量产。通过新开发的镜面光学系统与独特的加工技术，新产品保持了与原机型“MPAsp-H803T”（2013年6月发售）相同的2.0μm（L/S）的解析度，并将一次曝光的范围从最大58英寸进一步提升到了65英寸。因此，相比于旧机型，新产品对65英寸液晶面板的曝光单位时间缩短了约37%※4。

套刻精度的提升

随着加工工艺的高精细化，套刻精度也变得愈加重要。影响套刻精度的最大因素就是加工工艺中的非线性成分（即形变成分），通过倍率补正技术对非线性成分的有效应对，并与多点同时校正系统配合，新机型的套刻精度相比以往机型提高了10%。

双曝光线布局进一步提升MMG生产效率

通过对一台的涂布显影设备※5连接两台的FPD曝光设备的双曝光线布局，提升了可在玻璃基板上配置不同尺寸液晶面板的MMG※6技术的生产效率。新产品还可以与旧机型“MPAsp-H803T”配合，能使其在不影响现有第8代生产线产能的前提下实现搭配量产。

※1　2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板主要运用在电视机的液晶面板制造上。

※2　Line and Space的略写。

※3　为制定Ultra High Definition平台的统一标准，设立了UHD联盟。Ultra HD Premium认证授予满足该联盟制定的所有标准的显示设备。

※4　在第8代玻璃基板上，曝光三片65英寸面板的单位时间比较。

※5  曝光前将光刻胶涂在玻璃基板的表面上，曝光后再将其浸没于显影液中来去除多余光刻胶的设备。

※6  Multi Module on Glass的略写。在一张玻璃基板上配置不同尺寸液晶面板的技术。可提高玻璃基板的使用效率。

佳能集团介绍

佳能自1937年创业以来，始终秉承“共生”的企业理念，以创造世界一流产品为奋斗目标，向多元化和全球化发展。目前，佳能的事业以光学技术为核心，涵盖了办公产品、影像系统产品、医疗系统业务以及产业设备及其他产品等广泛领域。位于东京的集团总部与美洲、欧洲、亚洲、大洋洲以及日本的各区域总部紧密联系，构筑了全球化与本土化有机结合的经营体制。1996年，佳能启动了旨在实现以技术服务社会，成为全球范围内被信赖、受尊敬的企业为目标的“全球优良企业集团构想”。目前佳能集团分布在世界各地的合并结算子公司已达376家公司，员工197,776人。（此数据截止至2017年12月31日）

佳能亚洲营销集团介绍

佳能亚洲营销集团是佳能五大营销集团之一，所管辖亚洲机构遍布中国大陆、韩国、新加坡、泰国、马来西亚、菲律宾、印度、越南、香港、台湾等国家及地区，目前拥有12家集团公司，员工近7千人。在“感动常在”口号的指引下，佳能亚洲营销集团始终以创造世界卓越产品和提供优质服务为奋斗目标，积极推动事业向多元化和全球化发展，在办公产品、影像系统产品以及产业设备及其他产品等广泛领域都发挥着巨大的作用。佳能亚洲营销集团总部是位于北京的佳能（中国）有限公司，在佳能（中国）的带领下，佳能亚洲营销集团加强了多种经营的战略，在全球市场占有越来越重要的位置。（以上数据截止至2017年12月31日）

佳能（中国）有限公司介绍

佳能的中国事业始于上个世纪70年代末。从最初的技术合作到独资建厂再到成立销售公司，经历了多种经营模式的探索。1997年3月，佳能（中国）有限公司成立，全面负责佳能在中国市场销售的各项工作。经过多年努力，目前业务已经覆盖影像系统产品、办公产品、产业设备及其他产品领域，已基本建成包括5大区域总部在内的30个分支机构以及7个展厅、6个快修中心、9个快捷服务站等组成的销售服务网络。佳能（中国）将深深植根于中国市场，致力于成为一家被中国人民信赖、尊敬的企业。（以上数据截止至2018年8月1日）

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