“镜”全力，守护你的“芯”

2025/2/20 17:55:46

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随着5G，AI等技术的高速发展，对高性能芯片的需求大幅增加，推动了晶圆检测设备的发展。而光学产品作为其中的核心器件，对晶圆检测精度的影响至关重要。工业相机+筒镜+显微物镜的方式是晶圆检测设备中常用的方案。

不同于生物等领域对显微镜的要求，半导体晶圆检测应用需要显微成像系统在全视野各个位置的成像一致性都好并且具有尽可能大的视场数，以满足高精度高速度的应用需求。茉丽特基于深厚的光学技术沉淀和深耕半导体行业50年的经验，专为此应用开发了大视场数显微物镜和配套筒镜，助力国内晶圆检测设备的蓬勃发展。

六大优势

大视场数F.N.38mm设计

常规显微物镜视场数通常为F.N.26mm左右，难以支持大靶面面阵或线扫相机，检测速度受限。茉丽特10X显微物镜MOL10 和配套筒镜SOD-200-40M58都可支持65M面阵及8K5u线扫相机。

中心到边缘，全场一致性好

MOL10 拥有很高的斯特列尔比，从中心到边缘成像清晰度都好。MOL10以NA0.3的设计，从中心略往外位置开始，成像清晰度已明显好于对比测试组中NA0.41的物镜，展现出茉丽特极强的镜头工艺控制和装配能力。

◈　拍定制分辨率板

◈ 拍晶圆

优异的色差校正设计

各波长光时(R,G.B,W)的MTF一致性好

预留内置自动对焦插口

搭配茉丽特光纤

可实现均匀性优异的明场暗场照明

应用领域

晶圆有图检测

晶圆无图检测

Micro LED检测

mini LED

产品参数

参数	值
倍率	x10
FOV	φ3.8mm
靶面	38mm *SOD-200-40M58筒镜自身可达40mm
波长	430-700nm
NA	0.3
有效焦距(EFL)	20mm
齐焦距	120mm
WD	11.5mm
相对照度	98.0
最大重量	806g
镜筒螺纹尺寸	W26(φ26,P0.706mm)

除此10X物镜外，其他倍率物镜也将尽快推出。另外我们还有种类丰富的筒镜产品和灵活的光纤定制能力，欢迎借样、咨询。

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