据媒体报道，3月5日，ASML发布2024年度报告，首席执行官克里斯托弗·福凯（Christophe Fouquet）表示，如果展望ASML的未来增长，光刻技术无疑仍然是摩尔定律的主要驱动力之一，相信这一点在未来许多年里依然成立。

与此同时，二维收缩（2D shrink）正变得越来越困难。这并不完全是由于光刻技术的局限性，而是因为我们几乎达到了逻辑和存储器客户所使用的晶体管的极限。为了继续在二维收缩方面取得进展，需要在架构和器件上进行创新。这意味着需要进行三维前道整合（3D front-end integration），而这将带来增长机会——因为三维整合技术依赖于键合（Bonding），而这又需要一体化光刻技术（holistic lithography）。克里斯托弗·福凯强调：“我认为，三维整合将成为二维收缩日益重要的补充技术或技术组合。”

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