来源：Park原子力显微镜

当半导体工艺不断逼近物理极限，测量技术如何突破边界？

当芯片良率与研发效率成为制胜关键，精准检测如何驱动产业创新？

2025年3月26-28日，Park Systems携全新半导体解决方案登陆SEMICON China，邀您亲临E6展馆6455号展位，共同探索未来微观世界的无限可能！

【参会指南】

时间：2025年3月26日-28日

地点：上海新国际博览中心

（上海市浦东新区龙阳路2345号上海新国际博览中心）

Park展位号：E6馆 6455

电子版邀请函请点击文末‘阅读原文’锁定专属洽谈时段！

Park VIP礼品墙

展会现场准备了洁净室拼装积木，保温杯，Park吉祥物娃娃，毛绒钥匙扣，手机支架，VIP套装等上千份礼品，欢迎您的光临！

【Park Systems：纳米测量领域的全球标杆】

作为原子力显微镜（AFM）与纳米测量技术的行业领导者，Park Systems深耕半导体领域20余年，以**“非接触模式成像”“全自动检测”“工业级稳定性”**三大核心技术，为全球顶尖芯片企业提供：
晶圆表面缺陷分析
光刻胶3D形貌表征
薄膜厚度精准测量
材料成分红外光谱解析
从研发实验室到量产产线，我们让纳米级精度触手可及！

新品首发

NX-TSH 400TF

半导体Tape Frame封装纳米计量解决方案

- Tape Frame无缝兼容： 

NX-TSH400TF支持薄膜Tape Frame样品的直接测量，实现高效无损的操作流程。

- 纳米级测量精度: 

实现晶圆图案临界尺寸（CD）、深度及表面粗糙度的纳米级精确测量。

- 精准量化的3D形貌: 

完整量化 Cu Pad Recess、Ox层粗糙度等纳米级测量细节，满足 Hybrid Bonding等先进封装的量测需求。

- 全流程自动化: 

集成晶圆自动传输系统，涵盖自动定位、测量与分析等，确保工业级测量吞吐量。

- 超稳定测量环境: 

采用多级隔离技术，有效抑制颗粒污染、噪声、环境振动及静电干扰，保障测量重复性与稳定性。

FX300 IR

纳米级红外光谱与原子力显微镜联用技术，

支持高精度化学表征。

▸ AFM与红外光谱联用系统升级分析

▸PiFM纳米级分子分析能力， 能够提供~5 nm空间分辨率的红外光谱分析。

▸ 自动化IR激光校准系统 

联系方式

www.parksystems.cn

销售热线: 400-878-6829

售后热线: 021-6025-1578

Park北京分公司

北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室

Park上海实验室

上海市闵行区丰虹路199号德必虹桥国际WE 5号楼118

Park广州实验室

广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211

【近期会议】

5月21-22日，"2025半导体先进技术创新发展与机遇大会（SAT CON 2025）"将于苏州狮山国际会议中心再度启幕！诚邀泛半导体领域精英共襄盛举，共筑自主可控、深度融合、可持续发展的泛半导体产业生态圈。席位有限，扫码即刻报名，共赴这场泛半导体行业的年度盛会！https://w.lwc.cn/s/Bf2iAb

【2025全年计划】
隶属于ACT雅时国际商讯旗下的两本优秀杂志：《化合物半导体》＆《半导体芯科技》2025年研讨会全年计划已出。
线上线下，共谋行业发展、产业进步！商机合作一览无余，欢迎您点击获取！
https://www.compoundsemiconductorchina.net/seminar/