2021/7/16 11:19:16
12寸独立式光学线宽测量机台 (OCD) 是该类型的国内首台机台，主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测，并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。EPROFILE 300FD测量系统拥有完全自主知识产权，包括宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位系统、系统软件等核心零部件均为自主研发，是真正意义上的高端国产化机台。
配套EPROFILE 300FD, 上海精测还同时发布了新一代电磁场仿真建模工具J_Profiler™ V3.0; 该款软件允许用户在数百核的高速建模运算服务器上进行OCD建模与库匹配，可以在获取复杂三维纳米结构光谱变化信息后，实时高速的对于纳米结构的各个维度精确值进行计算。
EPROFILE 300FD和J_Profiler™ V3.0将为国内高节点产线提供稳定、实时、高速的量测解决方案。
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